Entwicklung der optischen Mikrolithographie für die Herstellung integrierter Schaltungen

Veranstaltungen
16:15 – 17:15
Hannover
Hannover
Univ. Hannover, Institut für Physikalische Chemie und Elektrochemie, Dr. August Oetker-Hörsaal, Callinstr. 3A
Dr. Andreas Dorsel
Semiconductor Manufacturing Technology, Carl Zeiss GmbH, Oberkochen, Mitglied der Geschäftsführung
Veranstaltungsdetails
16:15 – 17:15
Hannover
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Univ. Hannover, Institut für Physikalische Chemie und Elektrochemie, Dr. August Oetker-Hörsaal, Callinstr. 3A
Dr. Andreas Dorsel
Semiconductor Manufacturing Technology, Carl Zeiss GmbH, Oberkochen, Mitglied der Geschäftsführung
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