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Wie sauber ist der Siliciumwafer?
Von Wiley-VCH zur Verfügung gestellt
Verschiedene spektroskopische Methoden analysieren Oberflächen und dünne Schichten. Eine davon ist die Photoelektronenspektroskopie PES (X-ray photoelectron spectroscopy, XPS). Sie informiert über die chemische Zusammensetzung von Schichten mit einer Dicke bis zu einigen Mikrometern. Auch die Auger-Elektronenspektroskopie und die Flugzeit-Sekundärionenmassenspektroskopie verraten, wie eine Oberfläche beschaffen ist. Oberflächen analysieren: Mögliche Techniken Die Auger-Elektronenspektroskopie basiert auf dem Auger-Effekt: Ein scharf fokussiertes Elektronenbündel rastert die Probe ab und setzt dabei Auger-Elektronen frei, deren kinetische Ener...
