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Die obersten Schichten genau im Blick
Von Wiley-VCH zur Verfügung gestellt
Neben den Elektronen-Spektroskopie-Verfahren ist die Sekundärionenmassenspektroskopie (SIMS) das einzige massenspektroskopische Verfahren, um die chemische Zusammensetzung von Oberflächen zu untersuchen. Die SIMS zählt allerdings zu den zerstörenden Techniken und die Analysen dauern oft mehrere Stunden, da bei SIMS für jede Probe von neuem Hochvakuum erzeugt werden muss. Eine neue Alternative ist die RF-GD-TOF-Massenspektrometrie (radiofrequency glow discharge time of flight mass spectrometry = Radiofrequenzglimmlampe mit Flugzeitmassenspektrometrie). Sie dauert durchschnittlich nur etwa fünf Minuten, liefert wesentlich mehr Informationen und...
